GD-MS – Масспектрометри с тлеещ разряд

На практика се създава, като се приложи напрежение между два метални електрода в стъклен или друг цилиндър, напълнен с газ.

При постепенно увеличаване на напрежението и достигане на стойност, наричана напрежение на запалване, газът в цилиндъра се йонизира, превръща се в плазма и започва да провежда електричество, като това е съпроводено с цветно сияние (тлеене).

Цветът на сиянието зависи от използвания газ. Тлеещият разряд се използва и има широко приложение.

Излъчената светлина може да се анализира със спектроскопски методи и да даде информация за атомните взаимодействия в газа, затова тлеещият разряд се използва широко във физиката на плазмата и аналитичната химия. Използва се и като технология за нанасяне на тънки слоеве и обработка на повърхности като йонно разпрашване или сухо ецване.